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產(chǎn)品描述
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NNS-XY100RZ2-01 高精度三維納米定位平臺
NNS-XY100RZ2-01是一款集成平移和旋轉(zhuǎn)的高精度納米運動臺。電容傳感器全閉環(huán)控制,精度高,結(jié)構(gòu)緊湊。大通孔設計,陽極氧化黑工藝,滿足多場景應用。
典型應用
• 顯微成像 • 激光加工
• 表面檢測 • 半導體加工
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