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NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三維納米定位平臺
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產(chǎn)品編號
所屬分類
三維納米臺
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三維納米定位平臺
NNS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三維納米定位平臺,閉環(huán)行程可達700/700/200μm,閉環(huán)分辨率 5/5/3nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 激光加工
• 表面檢測 • 光學(xué)測量
• 半導(dǎo)體加工
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