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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NS-XY100-03 緊湊型XY二維納米定位平臺
NS-XY100-03是一款高精度緊湊型二維納米定位平臺，尺寸小巧76x76x23.5mm。閉環(huán)行程可達(dá)100x100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 材料分析
• AFM/SPM • 光學(xué)掃描
• 半導(dǎo)體加工
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