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產(chǎn)品描述
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NS-XY100-02 真空吸盤XY二維納米定位平臺
NS-XY100-02是一款集成真空吸盤的高精度二維納米定位平臺。閉環(huán)行程可達(dá)100x100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5nm?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體加工和檢測。
典型應(yīng)用
• 表面檢測 • 顯微成像 • 激光技術(shù)
• 半導(dǎo)體加工與測試
• 高密度光存儲與磁存儲
關(guān)鍵詞:
高精度位移臺
納米位移平臺
二維運(yùn)動平臺
電控位移臺
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