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NNS-XYZ100RZ2RXY1-01 六維納米定位平臺
NS-XYZ100RZ2RXY1-01是一款高精度六維納米運(yùn)動臺。集成平移、升降和旋轉(zhuǎn)在一起多達(dá)六維運(yùn)動,結(jié)構(gòu)緊湊。電容傳感器全閉環(huán)控制,精度高。大通孔設(shè)計(jì),陽極氧化黑工藝,滿足多場景應(yīng)用。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 納米定位
• 光學(xué)對準(zhǔn) • 激光領(lǐng)域
• 集成光學(xué) • 光學(xué)測量
• 半導(dǎo)體加工
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