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NNS-X60-01 X軸納米定位平臺(tái)
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產(chǎn)品編號(hào)
所屬分類(lèi)
一維納米臺(tái)
數(shù)量
-
+
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1
產(chǎn)品描述
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NNS-X60-01 X軸納米定位平臺(tái)
NNS-X60-01是一款X軸方向的運(yùn)動(dòng)臺(tái),閉環(huán)行程60μm,可提供0.5nm的閉環(huán)分辨率。采用表面陽(yáng)極氧化黑工藝。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 激光加工
• 光學(xué)移相 • 光柵刻寫(xiě)
• 光學(xué)對(duì)準(zhǔn) • 晶圓檢測(cè)
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NNS-Z20-01 Z軸納米定位平臺(tái)
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NNS-X100-01 X軸納米定位平臺(tái)
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