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NS-XY200Z15-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
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產(chǎn)品編號(hào)
NS-XY200Z15-01
所屬分類
三維納米臺(tái)
數(shù)量
-
+
庫存:
1
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NS-XY200Z15-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
NS-XY200Z15-01是一款高精度大負(fù)載三維納米定位平臺(tái)，負(fù)載可達(dá)5kg。閉環(huán)行程可達(dá)200/200/15μm，閉環(huán)分辨率 0.8/0.8/0.1nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 激光加工
• 表面檢測 • 光學(xué)測量
• 半導(dǎo)體加工
關(guān)鍵詞:
高精度運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)
納米位移臺(tái)
壓電定位臺(tái)
三維位移臺(tái)
電控位移臺(tái)
滑臺(tái)
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