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NS-XY100Z15-01 重載XYZ三維納米定位平臺
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產(chǎn)品編號
NS-XY100Z15-01
所屬分類
三維納米臺
數(shù)量
-
+
庫存:
1
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
模型下載
NS-XY100Z15-01 重載XYZ三維納米定位平臺
NS-XY100Z15-02是一款高精度大負載三維納米定位平臺，負載可達5kg。閉環(huán)行程可達100/100/15μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5/0.1nm。
典型應(yīng)用
• 激光加工 • 顯微成像
• 表面檢測 • 光學(xué)測量
• 半導(dǎo)體加工
關(guān)鍵詞:
壓電定位臺
高精度位移臺
亞納米級定位平臺
壓電陶瓷平臺
柔性鉸鏈
三維移動平臺
滑臺
位移臺
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