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GBT38614-2020-基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法
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GBT38614-2020-基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法
2020-06-08
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